檢修(零件更換)請由經過培訓的服務人員進行。 詳細資訊請參閱以下內容。 「安全手冊 - 訓練」
警告
為了安全地持續使用無塵室與ESD型號的機械臂,請務必對電纜裝置進行檢修(零件更換)。無塵室與ESD型號的導管使用導電材料,以防靜電。若因長期運轉導致電纜磨損並發生短路時,導管可能會帶電,通電時接觸導管可能會導致觸電而負重傷。
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