最大板材位移

振动导致平台板产生的最大位移量。
（单位：mm）

最大板材位移

	X方向	Y方向	Z方向
IF-A1520	±1.5	±1.5	±1.5
IF-A2330	±3.5	±4.5	±4.5
IF-A3540	±3.5	±5.5	±6.5