檢修(零件更換)

檢修(零件更換)請由經過培訓的服務人員進行。
詳細資訊請參閱以下內容。
"安全手冊 - 訓練"

警告

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• 對於無塵室與&ESD規格以及ESD規格的機械臂，為確保安全地持續使用，請務必執行電纜單元的檢修(零件更換)。無塵室與&ESD規格以及ESD規格的導管使用具有導電性的材料，以防靜電。因長期運行使電纜磨損而在內部短路時，導管可能會帶電，通電狀態下若接觸導管可能會導致觸電，造成人員重傷危險。