檢修(零件更換)

檢修(零件更換)請由經過培訓的服務人員進行。
詳細資訊請參閱以下內容。
「安全手冊 - 訓練」

警告

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為了安全地持續使用無塵室與ESD型號以及ESD型號的機械臂，請務必對電纜裝置進行檢修(零件更換)。無塵室與ESD型號以及ESD型號的導管使用導電材料，以防靜電。若因長期運轉導致電纜磨損並發生短路時，導管可能會帶電，通電時接觸導管可能會導致觸電而負重傷。