检修（部件更换）

请由受过专业培训的维修工程师进行检修和更换部件的操作。
有关详细信息，请参阅下述内容。
“安全手册 - 培训”

警告

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• 为安全持续使用洁净型&ESD规格及ESD规格的机械手，请务必进行电缆单元的检修(部件更换)。洁净型&ESD规格以及ESD规格的配管使用具有导电性的材料，以防止静电。由于长期运行而使电缆磨损并在内部短路时，配管可能会带电，在通电状态下如果触碰配管，可能会触电并导致重伤。