Especificação de ambiente padrão de sala limpa (LS14-C***C)
O aspeto da especificação de ambiente de sala limpa difere da especificação de ambiente padrão nas seguintes partes:
| Símbolo | Descrição |
|---|---|
| a | Foles superiores |
| b | Foles inferiores |
| c | Porta de escape |
Especificação de ambiente padrão de sala limpa (LS14-C***C)
| LS14-C602C | LS14-C603C | LS14-C702C | LS14-C703C | LS14-C802C | LS14-C803C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| a | 225 | 225 | 325 | 325 | 425 | 425 |
| b | 622 | 722 | 622 | 722 | 622 | 722 |
| c | 170 | 270 | 170 | 270 | 170 | 270 |
| d | 53 | 153 | 53 | 153 | 53 | 153 |
| e | 588 | 588 | 606 | 606 | 615 | 615 |
| f | 615 | 615 | 651 | 651 | 682 | 682 |