Cleanroom-specificaties
Het uiterlijk van de cleanroom-omgevingsspecificatie verschilt op de volgende punten van de standaardomgevingsspecificatie
| Symbool | Beschrijving |
|---|---|
| a | Bovenste balg |
| b | Onderste balg |
| Symbool | Beschrijving |
|---|---|
| a | Uitlaatpoort |
LA3-A401C
LA6-A*02C
