Especificações para sala limpa
A aparência da especificação para sala limpa difere da especificação de ambiente padrão nas seguintes partes
| Símbolo | Descrição |
|---|---|
| a | Foles superiores |
| b | Foles inferiores |
| Símbolo | Descrição |
|---|---|
| a | Porta de escape |
LA3-A401C
LA6-A*02C
