クリーン標準環境仕様 (LS14-C***C)
クリーン環境仕様の外観は、下図の部分が標準環境仕様と異なります。
| 記号 | 説明 |
|---|---|
| a | 上じゃばら |
| b | 下じゃばら |
| c | 排気ポート |
クリーン標準環境仕様 (LS14-C***C)
| LS14-C602C | LS14-C603C | LS14-C702C | LS14-C703C | LS14-C802C | LS14-C803C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| a | 225 | 225 | 325 | 325 | 425 | 425 |
| b | 622 | 722 | 622 | 722 | 622 | 722 |
| c | 170 | 270 | 170 | 270 | 170 | 270 |
| d | 53 | 153 | 53 | 153 | 53 | 153 |
| e | 588 | 588 | 606 | 606 | 615 | 615 |
| f | 615 | 615 | 651 | 651 | 682 | 682 |