洁净型标准环境规格（LS14-C***C）
洁净型环境规格的外观中下图部分与标准环境规格不同。
| 符号 | 描述 |
|---|---|
| a | 上波纹管 |
| b | 下波纹管 |
| c | 排气口 |
洁净型标准环境规格（LS14-C***C）
| LS14-C602C | LS14-C603C | LS14-C702C | LS14-C703C | LS14-C802C | LS14-C803C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| a | 225 | 225 | 325 | 325 | 425 | 425 |
| b | 622 | 722 | 622 | 722 | 622 | 722 |
| c | 170 | 270 | 170 | 270 | 170 | 270 |
| d | 53 | 153 | 53 | 153 | 53 | 153 |
| e | 588 | 588 | 606 | 606 | 615 | 615 |
| f | 615 | 615 | 651 | 651 | 682 | 682 |