無塵室標準環境型號 (LS14-C***C)
無塵室環境型號在下圖部分的外觀上與標準環境型號不同。
| 符號 | 說明 |
|---|---|
| a | 上波紋管 |
| b | 下波紋管 |
| c | 排氣口 |
無塵室標準環境型號 (LS14-C***C)
| LS14-C602C | LS14-C603C | LS14-C702C | LS14-C703C | LS14-C802C | LS14-C803C | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| a | 225 | 225 | 325 | 325 | 425 | 425 |
| b | 622 | 722 | 622 | 722 | 622 | 722 |
| c | 170 | 270 | 170 | 270 | 170 | 270 |
| d | 53 | 153 | 53 | 153 | 53 | 153 |
| e | 588 | 588 | 606 | 606 | 615 | 615 |
| f | 615 | 615 | 651 | 651 | 682 | 682 |