クリーン標準環境仕様 (LS20-C**4C)

クリーン環境仕様の外観は、下図の部分が標準環境仕様と異なります。

記号	説明
a	上じゃばら
b	下じゃばら
c	排気ポート

クリーン標準環境仕様 (LS20-C**4C)

	LS20-C804S	LS20-CA04S
a	350	550
b	MAX. 1000	MAX. 1100