洁净型标准环境规格 (LS20-C**4C)
洁净型环境规格的外观中下图部分与标准环境规格不同。
| 符号 | 描述 |
|---|---|
| a | 上波纹管 |
| b | 下波纹管 |
| c | 排气口 |
洁净型标准环境规格 (LS20-C**4C)
| LS20-C804S | LS20-CA04S | |
|---|---|---|
| a | 350 | 550 |
| b | 最大1000 | 最大1100 |
洁净型环境规格的外观中下图部分与标准环境规格不同。
| 符号 | 描述 |
|---|---|
| a | 上波纹管 |
| b | 下波纹管 |
| c | 排气口 |
洁净型标准环境规格 (LS20-C**4C)
| LS20-C804S | LS20-CA04S | |
|---|---|---|
| a | 350 | 550 |
| b | 最大1000 | 最大1100 |