無塵室標準環境型號 (LS20-C**4C)
有關無塵室環境型號的外觀，下圖的部分與標準環境型號不同。
| 符號 | 描述 |
|---|---|
| a | 上波紋管 |
| b | 下波紋管 |
| c | 排氣口 |
無塵室標準環境型號 (LS20-C**4C)
| LS20-C804S | LS20-CA04S | |
|---|---|---|
| a | 350 | 550 |
| b | 最大1000 | 最大1100 |
有關無塵室環境型號的外觀，下圖的部分與標準環境型號不同。
| 符號 | 描述 |
|---|---|
| a | 上波紋管 |
| b | 下波紋管 |
| c | 排氣口 |
無塵室標準環境型號 (LS20-C**4C)
| LS20-C804S | LS20-CA04S | |
|---|---|---|
| a | 350 | 550 |
| b | 最大1000 | 最大1100 |