洁净型环境规格

1. 请在无尘室的缓冲室等开箱。
2. 将机械手用螺栓固定在搬运器具（托盘）上，使机械手不会翻倒。
3. 用含有酒精或纯水的无纺布等擦拭机械手表面。
4. 搬入无尘室。
5. 请参考标准环境规格的步骤安装机械手。
6. 将排气管连接至排气口。