無塵室環境型號

1. 請在無塵室緩衝區等拆封。
2. 用螺栓將機械臂固定在運送設備（或棧板）上，使其無法掉落。
3. 用含酒精或純水的不織布等擦拭機械臂表面。
4. 搬入無塵室。
5. 請參閱標準環境型號的步驟安裝機械臂。
6. 將排氣管連接至排氣口。