洁净型环境规格

1. 请在无尘室的缓冲室等开箱。

2. 将机械手用螺栓固定在搬运器具（托盘）上，使机械手不会翻倒。

3. 用含有酒精或纯水的无纺布等擦拭机械手表面。

4. 搬入无尘室。

5. 请参考标准环境规格的步骤安装机械手。

6. 将排气管连接至排气口。