クリーン環境仕様

1. クリーンルーム前室などで開梱します。

2. マニピュレーターが倒れないよう、マニピュレーターを運搬具 (またはパレット)にボルトで固定します。

3. マニピュレーター表面を、エチルアルコールまたは純水を含ませた不織布などで拭きます。

4. クリーンルームに搬入します。

5. 標準環境仕様の手順を参照し、マニピュレーターを設置します。

6. 排気ポートに排気チューブを接続します。