洁净型规格

1. 在无尘室外部进行开箱。

2. 用螺栓将机械手固定在搬运器具（或托盘）上，以防机械手翻倒。

3. 用沾有少量乙醇或纯水的无纺布擦拭机械手表面。

4. 搬入到无尘室内。

5. 请参阅标准环境规格的步骤安装机械手。

6. 将排气管连接到排气口上。